電子廠房淨化項目的實施流程(全生命周期管理)
項目實施需遵循 “精準規劃→科學施工→嚴格驗收→規範運維” 的邏輯,避免因流程疏漏導致淨化效果不達標或後期運維成本過高。
1. 前期規劃與設計階段(奠定基礎)
- 需求調研:明確產品類型(如芯片 / PCB / 元器件)、生產工藝(如光刻 / 組裝 / 測試)、產能規模,結合行業標準確定潔淨等級、溫濕度、ESD 等核心指標;
- 場地勘測:評估廠房結構(層高、承重、梁柱位置)、周邊環境(是否有汙染源)、市政配套(水電燃氣供應能力),避免設計與現場條件衝突;
- 方案設計:由專業淨化工程公司出具詳細設計方案,包括:
- 平麵布局:劃分潔淨區、緩衝間(風淋室 / 貨淋室)、更衣區、設備區、倉儲區,高潔淨區需設置 “二次更衣”(從普通區到潔淨區需經過更衣→洗手→風淋除塵);
- 係統設計:HVAC 係統風量計算、FFU 布置密度、風管走向、過濾器選型;圍護結構材料選型、節點密封設計;防靜電、純水、消防係統整合方案;
- 成本預算與審批:根據設計方案編製預算(含設備采購、施工、檢測、運維儲備金),明確項目周期(一般 1000㎡以下淨化區周期 2-3 個月,1000-5000㎡周期 4-6 個月)。
2. 施工建設階段(質量管控核心)
- 施工準備:搭建施工臨時設施,對現場進行封閉管理(避免外部粉塵汙染),施工人員需經過潔淨培訓(穿戴臨時潔淨服);
- 主體施工順序(遵循 “先粗後精、先外後內”):
- 圍護結構施工:先安裝牆體→吊頂→地麵,接縫處嚴格密封,完成後進行氣密性測試(漏風率≤0.5%);
- 管線安裝:鋪設風管、水管、電線電纜,風管安裝後需進行清潔(避免內部積塵),水管做壓力測試(防止漏水);
- 設備安裝:安裝 HVAC 機組、FFU、高效過濾器、冷水機組、純水設備、防靜電設備等,設備安裝後需調試運行;
- 潔淨收尾:對施工區域進行全麵清潔(用無塵布、專用清潔劑,避免產生粉塵),移除施工垃圾,封閉所有臨時開口;
- 施工質量管控:重點檢查密封性能(圍護結構、風管接縫)、過濾器安裝精度(無漏風)、防靜電性能(電阻值測試)、溫濕度控製精度,避免後期整改。
3. 檢測驗收階段(達標關鍵)
驗收需由第三方權威機構(具備潔淨工程檢測資質)按照設計指標和國家標準執行,驗收合格後方可投入使用,核心檢測項目包括:
- 潔淨度檢測:用粒子計數器在不同區域(送風口、工作區、回風口)多點采樣,檢測≥0.1μm、≥0.5μm 粒子濃度,需符合對應 ISO 等級要求;
- 溫濕度與壓差檢測:連續 24 小時監測,記錄溫濕度波動範圍、各區域壓差數值,確保符合設計標準;
- ESD 性能檢測:測試地麵、牆麵、設備的電阻值,人員靜電釋放時間,需滿足電子行業 ESD-S20.20 標準;
- 氣流速度與換氣次數檢測:單向流區域測試氣流速度,非單向流區域測試換氣次數,確保氣流組織合理;
- 其他檢測:噪聲、振動、照明照度、純水水質、消防設施功能,均需達標並出具檢測報告。
4. 運維管理階段(長期保障)
淨化環境的穩定性依賴後期運維,需建立完善的運維體係:
- 定期巡檢與維護:每日檢查 HVAC 係統運行狀態(風機、過濾器壓差)、溫濕度 / 壓差數據;每周清潔潔淨區地麵、牆麵、設備表麵;每月測試 ESD 性能;每 6-12 個月更換初效 / 中效過濾器,每 1-2 年更換高效過濾器(根據壓差變化調整);
- 應急預案:製定停電、設備故障、參數異常等突發情況的處理方案,配備備用電源(UPS)、備用風機,確保突發情況下潔淨環境不被破壞;
- 人員管理:建立潔淨區準入製度,人員需穿戴全套潔淨服(帽子、口罩、手套、鞋套),禁止攜帶粉塵、靜電物品進入;定期對運維人員進行培訓(設備操作、應急處理)。



