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    潔淨室工藝設備的安裝

    2025-12-01

    11.5.1工藝設備的安裝不應影響潔淨室參數和服務功能。
    11.5.2 工藝設備安裝時，現場的淨化空調係統應已連續運行24h 以上;現場除正常照明外，應配備三相380V、單相220V和低壓行燈電源。
    11.5.3 任何用於大設備的提升、牽引或定位的專用設備在進入潔淨室安裝現場前，應徹底清潔，並應檢查有無脫屑、剝落的表麵或不宜進入潔淨環境的材料。
    11.5.4 設備安裝時應妥善保護牆壁與地麵，設備的軟膠輪應予包裹，避免在地麵拖磨。開洞作業不應劃傷或汙染所在表麵。設備安裝位置穿越不同潔淨級別區域時，穿越處縫隙應用柔性材料填充、密封，並應裝飾處理。
    11.5.5 設備安裝時宜在設備周圍設臨時隔離牆，設備周圍應留出足夠的安裝空間。隔離區內應阻斷正壓送風。進入隔離區的人員應按進入潔淨區要求。
    11.5.6 除設計有明確要求外，設備的安裝宜不作永久性固定，不采用地腳螺栓方式。宜安裝成可移動性的半固定式。
    11.5.7 無腳輪的設備安裝就位時，應有承重部位地麵的保護措施。
    11.5.8 設備離牆距離應能滿足維修和清掃要求。當靠牆安裝時，與牆間的縫隙應密封。
    11.5.9 設備底麵應抬離地麵80mm~150mm，不能抬高這一距離時，應落地安裝，與地麵間的縫隙應密封。
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    11.5.10水池、水槽等用水設備與圍護結構接觸的邊沿部位的縫隙應密封。
    11.5.11設備配管配線所用各種管線原料和墊料、填料等輔料應對產品和環境無不良影響。應避免在潔淨環境中進行材料加工，當不可避免時，應采取防止粉塵擴散措施。
    11.5.12 當設備較高無法擦拭到頂部時，應采取可以清掃的措施。
    11.5.13應在設備找正、調平後進行設備二次配管、配線。

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