
垂直單向流集中送風方式
集中送風方式是一種經典的方式。集中送風方式就是將多台空調淨化機組集中設置在空調機房內。空調機房可位於潔淨室的側麵,也可位於潔淨室的頂層。垂直單向流集中送風方式可適用於大麵積和潔淨度級別高的潔淨室。圖9-5~圖9-7是高級別電子工業潔淨室應用垂直單向流集中送風的幾種形式。


由以上各圖可見,垂直單向流集中送風方式的潔淨室空間包括活動地板以下的下技術層、工作層和上技術層。如果麵積不大,級別不高於5級(1ISO),下技術層即為不高的回風層,室內空氣通過格柵地板經過中效過濾器回風,這是在第四章講過的典型垂直單向流潔淨室。如果潔淨室麵積大,潔淨度要求高,要求送風均勻,也就是要求回風靜壓箱內氣流分布均勻,該層就要有高的層高。