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潔淨室有害氣體排放處理
2026-01-29有害氣體排放處理
一、有害氣體種類
(1)含酸類廢氣
主要來源於化學清洗工作中產生的揮發性氣體。
(2)含堿類廢氣
主要來源於化學清洗工作中產生的揮發性氣體。
(3)毒性廢氣
如含磷、硼、镓、砷以及四氯化矽等的廢氣，主要來源於化學氣相沉積幹蝕刻機、擴散、離子植人等工序。
(4)工藝尾氣
如含H2、02等工藝尾氣。
(5)含有機溶劑廢氣等
生產過程中會使用多種有機物，如乙氧基全氟丁烷、全氟三丙基胺、全氟三丁基胺、全氟乙烷、丙二醇單甲基醚、異丙醇、乙醇、丁酮、丙酮、環已酮、乙醛等。這些有害物質一則汙染外環境的大氣，二則在進人空調係統後，對生產進一步造成危害，所以必須處理。
二、處理措施
對含酸、堿氣體可用濕式淋洗方法處理,可直接用水,或用其他化學溶液如氨
水、氫氧化鈉溶液進行中和。對含砷(如三氯化砷)、磷(如三氯化磷)等的廢氣,可噴進酸、堿溶液吸收,其中50%氫氧化鈉對PCls吸收效果好，但對AsClg的效果不理想。對含砷化氫(AsHs)的氣體可用飽和高錳酸鉀溶液噴淋吸收。對含四氯化矽(SiCL)的尾氣可直接淋水進行水解。其他工藝尾氣如氮氣、氧氣、氨氣、矽烷等也可淋水吸收。也可用加熱(燃燒)兼水洗方法去除有害氣體。對於未處理的或反應剩餘的可燃性氣體如氫氣、矽甲烷，可利用加熱(燃燒)方式將其高溫氧化;若為有毒有腐蝕性或易爆氣體，可溶於水的，利用冷水洗滌冷卻。
還可用活性炭加添加劑的化學過濾器處理有害氣體。也可用化學吸附方式將有害氣體吸附至金屬罐中，通過壓力或出口濃度傳感器，檢測吸附劑是否飽和，定時更換吸附劑。
還可用沸石濃縮轉輪加直燃式焚化係統，使廢氣經過一濃縮轉輪濃縮，濃縮倍率可提高10倍，再將高濃度的有機廢氣送人燃燒機燃燒後排放，因此燃燒機的大小可為原來的1/10。後段燃燒分解效率可達99%。通過轉輪機的氣體速度以不超過2m/s最佳。此種方式由於完全燃燒而無二次汙染。- 上一篇：潔淨室空調淨化係統主要幾種形式
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