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    潔淨室設計中為了減少靜電注意事項

    2026-04-13

    在潔淨室設計中為了減少靜電事故,除了產品本身的保護措施外,設計者的責任就是設法減小起電程度。減小起電程度並加速電荷的泄漏,可以通過物理的和化學的方法實現。物理方法有選擇合適的材料、接地和調節空氣濕度。
    1材料分三種類型:導電材料、靜電耗散材料和抗靜電材料。表麵電阻率低於每單位麵積1052,是導電的材料;每單位麵積達到106~102,是靜電耗散的材料;每單位麵積達到1010~1012,是抗靜電的材料。
    如果器件已獲得電荷,並與高電導率的已接地表麵相接觸,該電荷將迅速排掉,使電流水平可能達到足夠高,以致可損害該器件。可采用靜電耗散材料來減慢放電速率,以減少過快放電帶來的損害。抗靜電材料則具有低靜電產生能力,也可比較慢地排掉電荷。
    2接地是消除導體上靜電荷的一種有效方法,這種方法簡單、可靠,不需嬰
    很大的費用。接地必須符合安全技術規程的要求。接地既可將物體直接與地相接,也可以通過一定的電阻與地相接。直接接地法用於設備、插座板、夾具等導電部分的接地。對此,需用金屬導體以保證與地的可靠接觸。當不能直接接地時,就采用物體的靜電接地。如果物體內外表麵上任意一點對接地回路之間的電阻不超過1070,則這一物體可以認為是靜電接地。
    即使已采用了其他防靜電的方法,工作點的工藝設備、試驗和測量設備的所有金屬和導電的非金屬部分仍都必須接地。
    防靜電的接地裝置和電氣安全接地裝置應連接在一起。

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