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    電子工業潔淨室空調淨化係統主要形式

    2026-04-13

    空調淨化係統
    一、電子工業潔淨室空調淨化係統主要形式
    電子工業潔淨室空調淨化係統主要有以下幾種形式:
    1垂直單向流集中送風方式;
    風機過濾單元送風方式;
    隧道送風方式;
    非單向流送風加層流罩送風方式;
    5
    微環境方式。
    以上5種送風方式比較見表9-11。

     

     二、垂直單向流集中送風方式
    集中送風方式是一種經典的方式。集中送風方式就是將多台空調淨化機組集中設置在空調機房內。空調機房可位於潔淨室的側麵，也可位於潔淨室的頂層。垂直單向流集中送風方式可適用於大麵積和潔淨度級別高的潔淨室。
    圖9-5~圖9-7是高級別電子工業潔淨室應用垂直單向流集中送風的幾種形式。

     

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